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一种方硅芯铸锭炉真空系统

基本信息

申请号 CN202022354995.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214361838U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214361838U 申请公布日 2021-10-08
分类号 C30B29/06（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;F04B37/14（2006.01）I;F04B49/06（2006.01）I;F04B49/20（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;周春霞;白斌;徐养毅 申请（专利权）人 苏州昀丰半导体装备有限公司
代理机构 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 代理人 徐鸣
地址 215600江苏省苏州市张家港经济技术开发区（杨舍镇）晨丰公路1436号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉真空系统，主要以解决现有铸锭炉中炉腔压力的控制不稳定的问题。包括：上腔体，所述上腔体具有炉体左出气口与炉体右出气口，所述炉体左出气口位于所述上腔体的左侧；所述炉体右出气口位于所述上腔体的右侧；炉体抽气管，所述炉体抽气管连接所述炉体左出气口与所述炉体右出气口；真空管道主抽阀，所述真空管道主抽阀与所述炉体抽气管相连接；干泵机组，所述干泵机组与所述真空管道主抽阀相连接。本实用新型获得了压力控制稳定的优点。