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一种单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法

基本信息

申请号 CN201610292166.4 申请日 -
公开（公告）号 CN107346774A 公开（公告）日 2017-11-14
申请公布号 CN107346774A 申请公布日 2017-11-14
分类号 H01L27/146(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李成 申请（专利权）人 上海芯晨科技有限公司
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 余明伟
地址 201800 上海市嘉定区平城路811号422室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法，包括：制备于同一衬底上的光电二极管阵列和读出电路；提供一衬底，根据设计布局在所述衬底上刻蚀沟槽，确定各光敏元的位置；利用外延生长技术，在所述沟槽内逐层形成N型外延层及P型外延层；刻蚀所述P型外延层以露出部分所述N型外延层；在所述衬底上制备读出电路中的各器件；制作各光敏元的电极，通过金属线将各电极与所述读出电路中相应的器件连接。本发明的单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法将光电二极管阵列和读出电路制备于同一衬底上，避免了键合等复杂的制备工艺，提高产品的良率，大大简化生产工艺，降低生产成本，有利于紫外焦平面器件的大规模生产。