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一种人民币防伪检测传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201610281971.7 申请日 -
公开（公告）号 CN107342337A 公开（公告）日 2017-11-10
申请公布号 CN107342337A 申请公布日 2017-11-10
分类号 H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/12(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;G07D7/121(2016.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李成 申请（专利权）人 上海芯晨科技有限公司
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 余明伟
地址 201800 上海市嘉定区平城路811号422室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种人民币防伪检测传感器及其制备方法，包括：单片集成的紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管；提供一衬底，根据设计布局在所述衬底上刻蚀沟槽，确定紫外发光二极管的位置；在所述沟槽内逐层形成缓冲层、N型外延层及P型外延层；在所述衬底及所述P型外延层表面形成第一保护层；采用离子注入方式在所述衬底中形成掺杂区，所述掺杂区与所述衬底形成光敏二极管；分别制作各器件的接触电极，并在光敏二极管的表面分别形成蓝光滤光膜和绿光滤光膜。本发明将紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管集成于同一衬底上，大大减小了人民币防伪检测传感器的体积和生产成本，扩大了人民币防伪检测传感器的应用面。