一种人民币防伪检测传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610281971.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107342337B | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN107342337B | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | H01L31/0304;H01L31/12;H01L31/18;G07D7/121 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李成 | 申请（专利权）人 | 上海芯晨科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 余明伟 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区平城路811号422室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种人民币防伪检测传感器及其制备方法，包括：单片集成的紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管；提供一衬底，根据设计布局在所述衬底上刻蚀沟槽，确定紫外发光二极管的位置；在所述沟槽内逐层形成缓冲层、N型外延层及P型外延层；在所述衬底及所述P型外延层表面形成第一保护层；采用离子注入方式在所述衬底中形成掺杂区，所述掺杂区与所述衬底形成光敏二极管；分别制作各器件的接触电极，并在光敏二极管的表面分别形成蓝光滤光膜和绿光滤光膜。本发明将紫外发光二极管、蓝光光敏二极管及绿光光敏二极管集成于同一衬底上，大大减小了人民币防伪检测传感器的体积和生产成本，扩大了人民币防伪检测传感器的应用面。 |
