铝碳化硅热沉基板及其制备方法

基本信息

申请号 CN201710091257.6 申请日 -
公开(公告)号 CN106987836A 公开(公告)日 2017-07-28
申请公布号 CN106987836A 申请公布日 2017-07-28
分类号 C23C24/08(2006.01)I;C03C8/24(2006.01)I;C03C12/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 吴世清 申请(专利权)人 深圳市如器科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道雪象下雪村牛古岭8号一栋5楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种铝碳化硅热沉基板及其制备方法,其采用低温玻璃粉和调油墨组配制浆料,再烧结于铝碳化硅衬底上,大幅度降低绝缘层的烧结温度至450‑550℃,制得的铝碳化硅热沉基板具有良好的层间结合力和绝缘性能,热膨胀系数低,厚膜绝缘层的耐热性良好。