一种Ga2O3-CuSCN核壳异质结日盲紫外探测器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910612898.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110323303B | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN110323303B | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | H01L31/109;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李山;唐为华;李培刚 | 申请（专利权）人 | 北京镓族科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京清诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 乔东峰 |
| 地址 | 100088 北京市海淀区罗庄西里碧兴园1号楼2707室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种Ga2O3‑CuSCN核壳异质结日盲紫外探测器，包括作为n型核芯材料的Ga2O3单晶、作为p型壳层材料的CuSCN薄膜、与n型核芯材料欧姆接触的第一电极以及与p型壳层材料欧姆接触的第二电极。本发明还公开了Ga2O3‑CuSCN核壳异质结日盲紫外探测器的制备方法。本核壳结构日盲紫外探测器的制备工艺简单，器件性能优异，可探测超微弱日盲紫外光信号，并能实现自供电工作，适用于高敏感高精度的紫外光探测系统。 |
