一种用于掩膜版光阻涂布夹具的装置
基本信息
| 申请号 | CN202021590247.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212515343U | 公开（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申请公布号 | CN212515343U | 申请公布日 | 2021-02-09 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I; | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 林伟;郑宇辰;林超;周荣梵;王伟轶 | 申请（专利权）人 | 成都路维光电有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 唐邦英 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区康强三路1666号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于掩膜版光阻涂布夹具的装置，包括主体框架，所述主体框架为矩形框，还包括挡块和垫块，所述挡块至少设置4个，所述垫块设置4个，所述垫块设置在主体框架的2个对称边上均设置有若干T形槽，所述挡块和垫块可拆卸式设置在T形槽内，主体框架同一侧上的挡块设置在2个垫块之间，4个垫块用于放置掩膜版，4个垫块分别与掩膜版的四个角相匹配，所述挡块设置在掩膜版的上方。本实用新型优点是：垫块可以根据掩膜版尺寸自由调整位置，提高了工件的灵活性和通用性；材料除具有高强度、不产尘、防静电的特点；提高了机台的利用率和降低生产成本。 |
