用于掩膜版光刻胶的缓存装置
基本信息
| 申请号 | CN202020430760.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211996679U | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN211996679U | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | B65D25/02(2006.01)I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 林伟;林超;周荣梵 | 申请（专利权）人 | 成都路维光电有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 成都路维光电有限公司 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区康强三路1666号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于掩膜版光刻胶的缓存装置，包括桶体、桶盖和密封圈，桶盖上设置有进气管和进液管，桶体底部设置有出液管，所述桶盖上还设置有清洗管，清洗管伸入桶体内，清洗管伸入桶体一端的侧面上均匀布置有圆孔喷嘴，桶体底部设置有废液排出管；本实用新型通过在清洁管内通入高压的清洁药液，清洁药液再通过圆孔喷嘴喷射至桶体的内壁，将桶体内壁残留的光刻胶清洁干净，清洁后的废液再通过废液排出管排出桶体；相比于传统拆卸式的清洁方式而言，本实用新型的清洁过程无需拆卸装置，省时省力，自动化程度高，提高了工作效率，降低了清洁风险，可更好的保护设备。 |
