一种印制电路的激光直写成像曝光设备

基本信息

申请号 CN202022968027.3 申请日 -
公开(公告)号 CN214375812U 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN214375812U 申请公布日 2021-10-08
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 李荣桥;楼红卫;陈良佳;匡真安;艾才虎;黄腾辉;张茗 申请(专利权)人 浙江罗奇泰克科技股份有限公司
代理机构 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 代理人 吴琰
地址 322300浙江省金华市磐安县安文镇昌文路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种印制电路的激光直写成像曝光设备,包括壳体,所述壳体的顶端设置有风机过滤机组,所述壳体内侧上部设置有曝光设备主体,所述曝光设备主体的一侧设置有可移动光头,所述曝光设备主体的下方设置有电控元器件组件,所述电控元器件组件的一侧设置有花岗岩平台,所述花岗岩平台顶端设置有扫描轴;Z轴采用电气控制丝杆运动的方式来调节吸附板的位置,控制系统可以通过设置的电路板的板厚来控制Z轴的升降从而使得电路板始终处于焦面的位置,其中Z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间,另一方面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度,提高了曝光机的精准度。