一种印制电路的激光直写成像曝光设备
基本信息
申请号 | CN202022968027.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214375812U | 公开(公告)日 | 2021-10-08 |
申请公布号 | CN214375812U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 李荣桥;楼红卫;陈良佳;匡真安;艾才虎;黄腾辉;张茗 | 申请(专利权)人 | 浙江罗奇泰克科技股份有限公司 |
代理机构 | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 吴琰 |
地址 | 322300浙江省金华市磐安县安文镇昌文路15号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种印制电路的激光直写成像曝光设备,包括壳体,所述壳体的顶端设置有风机过滤机组,所述壳体内侧上部设置有曝光设备主体,所述曝光设备主体的一侧设置有可移动光头,所述曝光设备主体的下方设置有电控元器件组件,所述电控元器件组件的一侧设置有花岗岩平台,所述花岗岩平台顶端设置有扫描轴;Z轴采用电气控制丝杆运动的方式来调节吸附板的位置,控制系统可以通过设置的电路板的板厚来控制Z轴的升降从而使得电路板始终处于焦面的位置,其中Z轴采用斜坡升降的方式可以承受更大的承载力且节约了使用空间,另一方面该升降结构可以更加精准的控制升降的精度,提高了曝光机的精准度。 |
