一种抛光设备用上定盘基板下片工装

基本信息

申请号 CN202121413337.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215659625U 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN215659625U 申请公布日 2022-01-28
分类号 B24B29/02(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 李章辉 申请(专利权)人 重庆永信科技有限公司
代理机构 芜湖安汇知识产权代理有限公司 代理人 孟迪
地址 402160重庆市永川区星光大道999号1幢(重庆永川工业园区凤凰湖工业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 一种抛光设备用上定盘基板下片工装,属于工装夹具技术领域,该下片工装,包括定位挡板,定位挡板的上部通过卡接部件卡接定位在翻转90°的上定盘的外周,定位挡板的底部与上定盘表面相抵触,且定位挡板的底部承接上定盘上吸附的基板,本实用新型的有益效果是,该工装整体结构简单、制作成本低、重量轻,操作轻便省力,无需人手动抠取基板,有效了改善基板下片产生的弯曲度,降低了下片过程中的质损,同时降低了工人的劳动量。