VCM弹片的高效制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010110553.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111090222A | 公开（公告）日 | 2020-05-01 |
| 申请公布号 | CN111090222A | 申请公布日 | 2020-05-01 |
| 分类号 | G03F7/40;G03F1/00;H02K15/00 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周武;吴辉旺 | 申请（专利权）人 | 昆山弗莱吉电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州汉东知识产权代理有限公司 | 代理人 | 昆山弗莱吉电子科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇锦淞路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种VCM弹片的高效制备方法，采用光化学蚀刻技术和喷淋蚀刻机，在经过清洗干燥的基板上掩膜，蚀刻后再进行脱膜和后续处理，所述掩膜操作中，在基板的上表面涂覆光刻胶，采用接触式曝光法，在光刻胶上贴附与VCM弹片对应图案的掩膜版，然后进行曝光处理，曝光后将掩膜版去掉，清除所述基板上表面未固化的光刻胶，烘干，然后将基板从下表面加热，使基板上表面温度升至光刻胶的玻璃化转变温度，并保持数秒，然后立刻冷却，冷却后的基板下表面贴附保护膜，随后进行蚀刻；本发明缩短了烘干时间，光刻胶形成的保护层具有较好的抗蚀性和保护能力，减少了蚀刻液的消耗量，节能环保，降低了生产成本。 |
