应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
基本信息
| 申请号 | CN202020604024.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212128303U | 公开（公告）日 | 2020-12-11 |
| 申请公布号 | CN212128303U | 申请公布日 | 2020-12-11 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I;C23F1/46(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴辉旺;李军 | 申请（专利权）人 | 昆山弗莱吉电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京国坤专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 昆山弗莱吉电子科技有限公司 |
| 地址 | 215000江苏省昆山市玉山镇锦淞路399号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型揭示了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及负压动力源，负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，负压抽液管与运转台的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压抽液管上设有若干负压抽液管口，若干负压抽液管口线性相间隔排列。本实用新型通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻精度提升较为显著。 |
