金属电极及紫外光源
基本信息
申请号 | CN202123117417.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216413006U | 公开(公告)日 | 2022-04-29 |
申请公布号 | CN216413006U | 申请公布日 | 2022-04-29 |
分类号 | H01J61/073(2006.01)I;H01J65/04(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 孙钱;汤文君;冯美鑫;梅果 | 申请(专利权)人 | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 赵世发 |
地址 | 330000江西省南昌市南昌县小蓝经济技术开发区罗珠路278号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种金属电极及紫外光源。所述金属电极包括金属基体以及原位形成在所述金属基体表面的致密绝缘保护层。所述紫外光源包括:用于容纳准分子发光气体的放电腔室以及配置在所述放电腔室外部的第一电极和第二电极,至少所述放电腔室的局部设置在所述第一电极和第二电极之间,其中,所述第一电极和第二电极中的至少一者包括所述的金属电极。本实用新型实施例提供的一种紫外光源,具有臭氧产生率低、对环境友好等特点,从而有助于拓宽紫外光源的应用领域。 |
