一种产生掺杂碱金属或卤素的耦合气体团簇离子束的装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN202110866354.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113643950A | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN113643950A | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | H01J27/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 亚历山大·托斯托古佐夫;付德君;吐沙姑·阿不都吾甫;瓦西里·帕里诺维奇;张翔宇;左文彬 | 申请（专利权）人 | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人 | 高剑锋 |
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开发区大学园路20号武汉普天科技园1幢特区1-102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明设计了一种可产生掺杂性单电荷态碱金属正离子或卤素负离子的耦合气体团簇离子束的装置，并提出了用于产生该团簇离子束的方法。本发明旨在通过一个表面电离离子源所产生的低能单电荷态碱金属正离子或卤素负离子来掺杂产生耦合气体团簇离子束，以此提高装置的工作效率。在反应过程中用单原子离子代替分子离子或络合离子，避免了掺杂性离子在掺杂过程中的碎裂现象。本发明通过由大量气体原子（例如Ar）组成的中性气体团簇束流来捕获低能量的单电荷态碱金属正离子或卤素负离子，从而形成耦合气体团簇离子束。 |
