一种硅片生产用超声波清洗机
基本信息
申请号 | CN201910743796.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110369393B | 公开(公告)日 | 2021-04-06 |
申请公布号 | CN110369393B | 申请公布日 | 2021-04-06 |
分类号 | B08B3/02(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;F26B5/08(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 余江湖;刘君;郑松 | 申请(专利权)人 | 安徽晶天新能源科技有限责任公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 243000安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区北京大道嘉善科技园 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机,包括机身,所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板,且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机,所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖,且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒,该硅片生产用超声波清洗机,通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力,一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面,提高清洗的效果和均匀性,另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒,减少转筒内的杂质含量,为后续二次清洗提供洁净的环境,减少后续清洗液中杂质的再次附着,提高清洗的洁净程度。 |
