一种硅片生产用超声波清洗机

基本信息

申请号 CN201910743796.2 申请日 -
公开(公告)号 CN110369393B 公开(公告)日 2021-04-06
申请公布号 CN110369393B 申请公布日 2021-04-06
分类号 B08B3/02(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I;F26B5/08(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 余江湖;刘君;郑松 申请(专利权)人 安徽晶天新能源科技有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 243000安徽省马鞍山市承接产业转移示范园区北京大道嘉善科技园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片生产用超声波清洗机,包括机身,所述机身的一侧外壁上嵌入有电控面板,且机身相邻于电控面板的一侧外壁上通过螺栓固定连接有电机,所述电机的一端通过转轴转动连接有转筒,所述转筒的一侧外壁上通过铰链转动连接有筒盖,且转筒相邻于筒盖的一侧外壁上设置有密封盒,该硅片生产用超声波清洗机,通过转动式的转筒可以在硅片超声波清洗提供额外的水流冲击力,一方面保证水流的振动均匀的接触硅片表面,提高清洗的效果和均匀性,另一方面可以将硅片清洗后的液体通过高速的离心力甩出转筒,减少转筒内的杂质含量,为后续二次清洗提供洁净的环境,减少后续清洗液中杂质的再次附着,提高清洗的洁净程度。