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一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置

基本信息

申请号 CN202020301135.2 申请日 -
公开（公告）号 CN211858599U 公开（公告）日 2020-11-03
申请公布号 CN211858599U 申请公布日 2020-11-03
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 田英干 申请（专利权）人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
地址 314000浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种低压高效晶圆清洗喷嘴装置，包括底座，所述底座的顶端左右两侧均固定连接有支架且支架的顶端固定连接有外壳，所述外壳的内部右侧端固定安装有电机且电机的顶端安装有丝杆，所述丝杆的外侧壁上齿扣连接有丝杆套且丝杆套外侧壁上固定安装有轴承套A，所述轴承套A的底端固定连接有支撑板且支撑板的数量为两个，所述支撑板之间滑动连接有滑板且滑板的顶端固定安装有电动液压杆，所述电动液压杆的底端与轴承套A的底端固定连接，所述电动液压杆的表面固定安装有控制器，本实用新型结构简单、设计新颖，喷嘴可以来回移动，清洗范围更加广，十分的方便，并且可以根据晶圆的宽度对喷嘴的高度进行调节，大大提高了装置的实用性。