首页/ 嘉兴晶装电子科技股份有限公司/ 专利详情

一种基于温度控制技术的晶圆涂胶机

基本信息

申请号 CN202020310417.9 申请日 -
公开（公告）号 CN212370502U 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN212370502U 申请公布日 2021-01-19
分类号 B05C11/10(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 田英干 申请（专利权）人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 程开生
地址 314000浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种基于温度控制技术的晶圆涂胶机，属于晶圆制造设备技术领域，包括箱体，所述箱体外表面开设有置物槽，且所述置物槽外表面通过转动轴与箱门外侧壁滑动连接，所述置物槽内侧壁衔接有滑轨，且所述滑轨外表面通过开设有的滑槽与置物板外侧壁滑动连接，所述置物槽内侧壁安装有制热灯，且所说箱体右侧外壁镶嵌有启动开关。本实用新型通过制热灯运行从而可以对置物板上表面的待加热晶圆进行均匀加热涂胶，同时通过摄像头和温度传感器运行从而可以在晶圆加热涂胶过程中进行及时监控，避免了加热不均的情况出现，保障了成品晶圆的品质，结构简单且实用性强，适合被广泛推广和使用。