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快速均匀的晶圆烘干装置

基本信息

申请号 2020204094193 申请日 -
公开（公告）号 CN212370521U 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN212370521U 申请公布日 2021-01-19
分类号 B05D3/04(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 田英干 申请（专利权）人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王大国
地址 314199浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了快速均匀的晶圆烘干装置，包括固定烘干外箱，所述固定烘干外箱的内部设有移动烘干架，所述移动烘干架的一侧竖直内壁上固定安装有第一晶圆托板，所述移动烘干架的另一侧竖直内壁上固定安装有第二晶圆托板，所述移动烘干架靠近第一晶圆托板的一侧壁底部位置开设有第一进风口，所述移动烘干架靠近第二晶圆托板一侧壁顶部位置开设有第一出风口，所述固定烘干外箱的一侧外壁底部位置固定安装有热风机，所述固定烘干外箱的内表面开设有烘干腔，所述第一晶圆托板与第二晶圆托板结构一致。本实用新型可以实现多组晶圆的快速均匀烘干处理，烘干效果好，不占用大量地面空间，烘干效率高，省时省力，提高工作效率。