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可精细控制温度的晶圆蒸发台

基本信息

申请号 CN202020409416.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211858602U 公开（公告）日 2020-11-03
申请公布号 CN211858602U 申请公布日 2020-11-03
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 田英干 申请（专利权）人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王大国
地址 314199浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了可精细控制温度的晶圆蒸发台，包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵，所述真空泵的外侧设置有吸音机构，所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板，所述直角板上设置有若干凸起筋，且凸起筋上设置有第一六角螺丝，相邻的两个所述金属吸音板之间设置有第一直角片，且第一直角片上设置有两个第二六角螺丝，所述直角板的底部贯穿有排气管，所述直角板一侧贯穿有第一导管，且真空泵上设置有第二导管，所述直角板的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒，且直角盒的内部设置有内腔。本实用新型利用多个金属吸音板实现对噪音的吸收，避免了噪音污染，同时实现了真空泵的快速散热，安全性高，实用性强。