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晶圆清洗机防脱落装置

基本信息

申请号 CN202020409426.3 申请日 -
公开（公告）号 CN212370666U 公开（公告）日 2021-01-19
申请公布号 CN212370666U 申请公布日 2021-01-19
分类号 B08B3/02(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 田英干 申请（专利权）人 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王大国
地址 314199浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了晶圆清洗机防脱落装置，包括底座，所述底座的内侧壁底部位置设置有动滑轮，所述底座的内侧壁顶部位置设置有动滑轮，所述动滑轮与动滑轮之间设置有安全绳，所述安全绳的一端安装有移动板，所述移动板的上端设置有旋转台，旋转台的上表面固定连接有支撑杆体，所述支撑杆体的侧壁设置有晶圆主体，所述支撑杆体的一侧侧壁设置有防护箱，所述防护箱的内部设置有转动轮，所述转动轮的内侧壁转动连接有棘爪，所述转动轮的内部设置有棘轮，所述棘爪的一端卡接在棘轮的内部，所述棘轮的内部固定连接有螺栓杆。本实用新型增加防护结构，避免其脱落，可以调节清洗台的高度，保证清洗效果和晶圆的产品质量。