用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置
基本信息
| 申请号 | CN202020527700.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212899733U | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN212899733U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | F16J15/46(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 田英干 | 申请（专利权）人 | 嘉兴晶装电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王大国 |
| 地址 | 314199浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了用于晶圆清洗烘干的充气式主轴密封装置，属于密封技术领域，包括盖板，所述盖板的底端镶嵌连接有底板，所述底板的下方插接有气垫，所述气垫的两侧固定安装有侧腔，所述侧腔的内部固定安装有弹簧A，所述弹簧A的一端间隙连接在磁铁A的一端，所述气垫的底端插接在乳胶垫的内部，所述盖板的内部固定安装有支承座，所述支承座包括底座A底座B，所述底座A的一端过盈连接有支座A，所述支座A的下方镶嵌连接有弹簧B，所述弹簧B的下方固定安装有支座B，所述支座B的下方固定安装有底座B。本实用新型通过安装的支承座，能够有效减少盖板受到的来自外界环境的冲击压力，防止盖板受到损坏，从而提高使用效果。 |
