可快速升降温的红外退火炉
基本信息
| 申请号 | CN202022527606.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214747206U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214747206U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | F27B17/00（2006.01）I;F27D19/00（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 李小平;王愿兵;王振玉;汪爱英;孙兆雷;蔡自彪;张胜;杨林 | 申请（专利权）人 | 武汉光谷薄膜技术有限公司 |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人 | 许美红 |
| 地址 | 430206湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城C4栋3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种可快速升降温的红外退火炉，包括门体、上盖板、下盖板及石英腔；石英腔与上盖板之间形成低温腔，该低温腔内设有多个小功率红外灯管；石英腔与下盖板之间形成高温腔，该高温腔内设有多个大功率红外灯管。本实用新型利用高温腔、低温腔与石英腔配合，可实现红外退火炉的快速升降温。 |
