一种磁控溅射机制备渐变颜色膜的方法

基本信息

申请号 CN201811082012.8 申请日 -
公开(公告)号 CN109023280A 公开(公告)日 2018-12-18
申请公布号 CN109023280A 申请公布日 2018-12-18
分类号 C23C14/35;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 郭杏元;汤珅;冯红涛;战永刚 申请(专利权)人 深圳市三海科技有限公司
代理机构 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 周松强
地址 518000 广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种磁控溅射机制备渐变颜色膜的方法,包括有以下步骤:S1,光学膜系设计;S2,遮挡板的设计,根据软件模拟的光学薄膜结构的厚度变化来设计遮挡板的形状;S3,真空镀膜;S4,颜色及光学性能检验,对真空镀膜后的产品进行颜色LAB值及可见光反射率曲线、可见光透过率曲线检测,测试结果合格,则可以进行量产准备;测试结果不合格,则返回步骤S1中。使用该方法制备的渐变颜色膜过渡区颜色渐变自然,产品颜色易调节,能根据用户要求制备不同色彩和视觉效果的渐变颜色膜。相比于电子束蒸发镀膜,磁控溅射机镀制的膜层结构致密,折射率稳定,膜层光学性能更稳定,因而颜色稳定性更好。