一种扩展石英晶体膜厚测量范围的结构
基本信息
| 申请号 | CN201620264316.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205679212U | 公开（公告）日 | 2016-11-09 |
| 申请公布号 | CN205679212U | 申请公布日 | 2016-11-09 |
| 分类号 | G01B21/08(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 战永刚;郭杏元;战捷;曹永盛 | 申请（专利权）人 | 深圳市三海科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳众鼎专利商标代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱业刚;谭果林 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区福城街道福民社区核电工业园5号101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种扩展石英晶体膜厚测量范围的结构，包括：工件架、通过旋转轴安装于所述工件架中心的挡板、设于所述工件架中心位置上的法兰以及装载在所述法兰上的石英晶振片，所述挡板位于所述石英晶振片的正下方，所述挡板上设有一开口。本实用新型提供的结构，通过在石英晶振片的下方设一旋转的挡板，并在挡板上设有一开口，挡板面积与开口面积比值为Q，相比于工件，近似约有1/Q的膜料沉积到石英晶振片上，因此所述石英晶体膜厚测量范围可扩展Q倍。 |
