一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置
基本信息
| 申请号 | CN202110494260.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113001027A | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN113001027A | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | B23K26/36;B23K26/70;B23K26/16;B23K37/04 | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 戎家亮;向飞 | 申请（专利权）人 | 安徽应友光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 239500 安徽省滁州市全椒县十谭现代产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，包括底座，底座的顶部活动安装有升降式工作台，升降式工作台的顶部一侧固定安装有载物台，载物台的一侧转动安装有激光操作手臂，激光操作手臂远离载物台的一侧固定安装有电机，电机远离激光操作手臂的一侧固定安装有工作台控制器；底座和升降式工作台之间分别设有若干智能红外感应器，底座的一侧固定安装有激光控制台；载物台的顶部滑动安装有限位组件、底部滑动卡接有收集箱。 |
