一种用于超高真空系统的低温旋转样品架
基本信息
| 申请号 | CN202120509435.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214681828U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214681828U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | B01L7/00（2006.01）I;B01L9/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 杜鹏;龚欣;魏唯;陈峰武;付宏伟;肖慧;宁澍;陈长平 | 申请（专利权）人 | 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐好 |
| 地址 | 410000湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道1698号麓谷科技创新创业园A1栋1-1023房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于超高真空系统的低温旋转样品架，包括冷却液循环室、轴承、转动部件、驱动机构以及用于固定样品的夹持部件，所述转动部件上设有所述夹持部件，所述驱动机构与所述转动部件相连，所述冷却液循环室与所述转动部件通过所述轴承接触，所述冷却液循环室连接有冷却液输入管道及冷却液输出管道。本实用新型具有结构简单、操作方便，无需设置软连接，可靠性好等优点。 |
