一种集成电路芯片检测装置
基本信息
申请号 | CN201610865243.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106226674B | 公开(公告)日 | 2019-01-11 |
申请公布号 | CN106226674B | 申请公布日 | 2019-01-11 |
分类号 | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;H01L21/66 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 李风浪;李舒歆 | 申请(专利权)人 | 北京溢美四方软件技术有限公司 |
代理机构 | 厦门原创专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 江苏前瑞智能系统集成有限公司;江苏前瑞智能科技股份有限公司;江苏九天电气设备有限公司 |
地址 | 221000 江苏省徐州市云龙区徐州云龙万达广场3、4、5商办楼号楼3-1408 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种集成电路芯片检测装置,包括旋转传送单元和芯片检测单元,旋转传送单元和芯片检测单元均固定安装在底板上,旋转传送单元对集成电路进行旋转式输送,芯片检测单元对输送过来的集成电路进行芯片检测;旋转传送单元包括传送皮带组、缓冲支撑组、动力传动组和传动皮带组支架,传送皮带组用于竖直夹持集成电路进行旋转作业,传送皮带组位于旋转传送单元的上部。本发明利用旋转传送单元进行芯片传送,芯片检测单元设置在其侧面,对传送而来的芯片进行检测,其检测精度高,避免了人工检测的低效,自动化程度高。 |
