一种集成电路芯片检测装置

基本信息

申请号 CN201610865243.0 申请日 -
公开(公告)号 CN106226674B 公开(公告)日 2019-01-11
申请公布号 CN106226674B 申请公布日 2019-01-11
分类号 G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;H01L21/66 分类 测量;测试;
发明人 李风浪;李舒歆 申请(专利权)人 北京溢美四方软件技术有限公司
代理机构 厦门原创专利事务所(普通合伙) 代理人 江苏前瑞智能系统集成有限公司;江苏前瑞智能科技股份有限公司;江苏九天电气设备有限公司
地址 221000 江苏省徐州市云龙区徐州云龙万达广场3、4、5商办楼号楼3-1408
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种集成电路芯片检测装置,包括旋转传送单元和芯片检测单元,旋转传送单元和芯片检测单元均固定安装在底板上,旋转传送单元对集成电路进行旋转式输送,芯片检测单元对输送过来的集成电路进行芯片检测;旋转传送单元包括传送皮带组、缓冲支撑组、动力传动组和传动皮带组支架,传送皮带组用于竖直夹持集成电路进行旋转作业,传送皮带组位于旋转传送单元的上部。本发明利用旋转传送单元进行芯片传送,芯片检测单元设置在其侧面,对传送而来的芯片进行检测,其检测精度高,避免了人工检测的低效,自动化程度高。