一种网状射频PECVD电极结构
基本信息
| 申请号 | CN202120163595.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214244606U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214244606U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | C23C16/509（2006.01）I;C23C16/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张超雄;王铭;汪涛;凌俊;郭小勇;易治凯 | 申请（专利权）人 | 江苏爱康能源研究院有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市扬子专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张晓斐 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港市杨舍镇华昌路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及的一种网状射频PECVD电极结构，它包括网状电极板（1）本体，所述网状电极板（1）采用9*12的网框结构，在横向每隔四个网格设置一个RF功率馈入点（2），纵向每隔三个网格设置一个RF功率馈入点（2）。所述网状电极板（1）的长度为1.95m，宽度为1.60m。所述网状电极板（1）的内网框直径为5cm，外网框直径为7cm。本实用新型使用网状的电极结构，同时解决射频PECVD工艺腔的边缘效应和电势驻波效应对电磁场均匀性的影响，改善非晶硅的镀膜效果，提高了太阳能电池的转换效率和产品良率，同时稳定的工艺更适合运用于量产。 |
