一种FBAR滤波器及其制备方法和应用
基本信息
| 申请号 | CN202210294318.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114696775A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114696775A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I;H03H9/56（2006.01）I;H03H9/58（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李国强;胡晗;李陈阳;罗添友;张铁林 | 申请（专利权）人 | 华南理工大学 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510641广东省广州市天河区五山路381号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种FBAR滤波器及其制备方法和应用。本发明的FBAR滤波器的组成包括多面体形的支撑衬底和设置在支撑衬底至少两个面上的至少两个体声波滤波器，体声波滤波器的组成包括支撑层、底电极、压电层和顶电极，底电极和顶电极均为图形化的电极，且分别设置在压电层的两面，体声波滤波器中的支撑层、压电层和底电极与支撑衬底共同构成的空腔为空气腔体。本发明的FBAR滤波器将可以接收各种频率范围的体声波滤波器集成在同一片衬底上，缩小了FBAR滤波器的面积和体积，降低了FBAR滤波器的制作成本，适合进行大规模推广应用。 |
