首页/ 北京东方计量测试研究所/ 专利详情

一种复合型比较法真空校准系统及方法

基本信息

申请号 CN201811432009.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109341946B 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN109341946B 申请公布日 2021-09-14
分类号 G01L27/00 分类 测量；测试;
发明人 柏向春;田虎林;王欢;董云宁;卢耀文 申请（专利权）人 北京东方计量测试研究所
代理机构 北京善任知识产权代理有限公司 代理人 王大方;金杨
地址 100083 北京市海淀区知春路82号院
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接，其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵；第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计；所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接；所述第八真空阀门连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上，能够节约设备成本，扩大校准范围。