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真空计校准装置及校准方法

基本信息

申请号 CN202110578312.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113310626A 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN113310626A 申请公布日 2021-08-27
分类号 G01L27/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 卢耀文;柏向春;闫睿;董云宁;田虎林;魏萌萌;杨振 申请（专利权）人 北京东方计量测试研究所
代理机构 北京谨诚君睿知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 延慧;武丽荣
地址 100086北京市海淀区知春路82号1001室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。