一种半导体材料结晶炉
基本信息
申请号 | CN202022072103.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214148815U | 公开(公告)日 | 2021-09-07 |
申请公布号 | CN214148815U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
分类号 | F27B14/10(2006.01)I;F27B14/08(2006.01)I;F27B14/16(2006.01)I;F27B14/14(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I;B01D9/00(2006.01)I | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 不公告发明人 | 申请(专利权)人 | 常州岚玥新材料科技有限公司 |
代理机构 | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 李行 |
地址 | 213200江苏省常州市金坛区金龙大道563号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种半导体材料结晶炉,包括箱体,箱体的内腔固定连接有挡板,挡板将箱体分为加热腔与冷却腔,加热腔的侧壁固定连接有进料台,挡板的上壁固定连接有分隔层,分隔层的侧壁固定连接有加热筒,加热腔的内侧壁固定连接有支板,支板贯穿分隔层与加热筒,加热腔的侧壁固定连接有移料机构,加热筒与外部电源电连接,箱体的下壁固定连接有支脚,所述支脚的侧壁固定连接有卸料机构,本装置通过设置分隔层实现物料预加热,经过初步加热的物料会通过移料机构推入坩埚内,然后进行提纯,通过预热使对物料的提纯更加充分,从而增加了其结晶炉的提纯效率,设置卸料机构使其防止人员烫伤。 |
