采用空芯丝热熔法制作微通道板空心阵列基底的方法

基本信息

申请号 CN201911283388.X 申请日 -
公开(公告)号 CN110967729A 公开(公告)日 2020-04-07
申请公布号 CN110967729A 申请公布日 2020-04-07
分类号 G01T7/00;C03B37/025;C03B37/028;C03B37/10 分类 测量;测试;
发明人 王亚丽;张骞 申请(专利权)人 山西长城微光器材股份有限公司
代理机构 太原科卫专利事务所(普通合伙) 代理人 山西长城微光器材股份有限公司
地址 030000 山西省太原市示范区电子街7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种采用空芯丝热熔法制作微通道板空心阵列基底的方法,涉及微通道板的制备领域,本发明并非完整的微通道板的制造工艺,只是提供了制作空心阵列基底的方法,其工作原理为:在光纤拉制机上,拉制空心玻璃纤维丝,进行规制矩阵排列、拉制一次复丝,排板、真空熔合为空心微通道板,再用可溶性填充材料填充微米级纤维通道,进行切片、研磨、抛光等冷加工处理,然后用高频超声清洗机清洗掉可溶性填充材料,最终制作出纤维均匀排列、通道壁光滑的MCP空心阵列基底板。本发明所提供的工艺方法,所制得的微通道板空心阵列基底,空芯通道排列规整、通道内壁超光滑,在此空心阵列基底上用ADL技术制作微通道板,提高了微通道板各方面的性能。