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微通道板通道内抛光方法

基本信息

申请号	CN201911282170.2	申请日	-
公开（公告）号	CN111029230A	公开（公告）日	2020-04-17
申请公布号	CN111029230A	申请公布日	2020-04-17
分类号	H01J9/02;H01J43/24;C03C15/02	分类	基本电气元件;
发明人	李江;陈平香;栗重浩	申请（专利权）人	山西长城微光器材股份有限公司
代理机构	太原科卫专利事务所（普通合伙）	代理人	山西长城微光器材股份有限公司
地址	030000 山西省太原市示范区电子街7号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种微通道板通道内抛光方法，涉及电子倍增器微通道板的制造优化领域，针对采用传统工艺已经制造好的微孔阵列玻璃坯件，首先采用硝酸氢氟酸混合液进行超声波振动，再更换新的硝酸氢氟酸混合液磁力搅拌器中搅拌一定时间，采用纯水进行多次换水清洗；其次在氢氟酸+硫酸混液中也采用磁力搅拌器中搅拌一定时间，再采用纯水进行多次换水清洗；然后氢氟酸+硫酸+氟化铵混液中，在磁力搅拌器中搅拌，再采用纯水进行多次换水清洗；最后采用乙醇溶液清洗并放入真空烘箱中烧烤一定时间后，达到对微通道进行内抛光，本发明所提供的内抛光方法，满足ALD工艺对通道壁粗糙度要求的目的，该工艺避免了传统酸腐蚀对通道壁产生破损，造成发射点的问题。