一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置

基本信息

申请号	CN201821637092.4	申请日	-
公开（公告）号	CN209278473U	公开（公告）日	2019-08-20
申请公布号	CN209278473U	申请公布日	2019-08-20
分类号	F16J15/02（2006.01）I	分类	工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热;
发明人	宋宜梅; 黄以平; 李少林	申请（专利权）人	桂林实创真空数控设备有限公司
代理机构	桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司	代理人	覃永峰
地址	541004 广西壮族自治区桂林市高新区铁山工业园Z-7-1号C地块
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置，涉及真空室内精密机构安装技术领域，解决的技术问题是因真空室壁面变形而对其内安装的精密机构位移精度影响，该装置包括真空室壁、缓冲密封装置、刚性安装座，缓冲密封装置套装在刚性安装座外圆表面上，刚性安装座一端穿过真空室壁上通孔与精密运行机构安装座连接，另一端固定安装在真空室外的刚性固定物体上，当真空室工作时，真空室壁变形产生的位移经过缓冲密封装置的缓冲作用设备仍然保持真空密封状态，而安装在刚性安装座上的精密运行机构安装座不会受真空室壁上的位移影响。本实用新型解决了安装在真空室内的精密机构受真空室壁变形影响而发生位移的问题并保证了真空室的真空密封。