大功率宽幅电子束偏转扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN201710305615.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106981410B | 公开（公告）日 | 2019-06-28 |
| 申请公布号 | CN106981410B | 申请公布日 | 2019-06-28 |
| 分类号 | H01J37/147（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄以平; 李少林; 宋宜梅 | 申请（专利权）人 | 桂林实创真空数控设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 541004 广西壮族自治区桂林市铁山工业园Z-7-1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种大功率宽幅电子束偏转扫描装置，该装置采用两个独立的线圈，一个用以产生电子束偏转磁场的偏转线圈，另一个用于产生高频扫描磁场、分别实现电子束偏转功能和扫描功能的扫描线圈；所述的偏转线圈由偏转电源提供电源，所述的扫描线圈由扫描电源提供电源。利用独立的偏转线圈和扫描线圈分开的结构，解决了传统单线圈结构难以实现30kw以上大功率300mm以上宽幅电子束偏转扫描加工的难题，并可通过CNC系统编程设定合成扫描轨迹及复杂工件加工，可用于大功率电子束焊机、电子束熔炼炉、电子束三维打印及其电子束表面处理等大功率电子束加工设备。 |
