一种制备双晶氧化铟锡纳米线的方法

基本信息

申请号 CN201310099861.5 申请日 -
公开(公告)号 CN103194725B 公开(公告)日 2015-04-01
申请公布号 CN103194725B 申请公布日 2015-04-01
分类号 C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 万能;刘楚山;刘海滨 申请(专利权)人 孝感市瑞晟机电制造有限公司
代理机构 南京知识律师事务所 代理人 李媛媛
地址 432100 湖北省孝感市三汊镇张湾工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种利用电子束蒸发制备双晶体氧化铟锡纳米线的方法。主要使用铟、锡比例为95:5的氧化铟锡颗粒为原料,硅片、铝箔或载玻片为衬底,用电子束蒸发的方法制备双晶氧化铟锡纳米线,在特定的参数下得到一定产率的纳米线材料,并具有可大面积制备,操作方便等优点。本发明制备的双晶纳米线,其两块晶体具有任意的取向关系,与通常的单晶或其他孪晶结构的纳米线相比,具有不同的力学、热学、光学和电学特性,因此在半导体光电子学,微纳电子学和高灵敏度传感器件中可有特殊的应用。