一种二维AMR开关传感芯片
基本信息
| 申请号 | CN201822127560.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209690484U | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN209690484U | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | G01R33/02（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 余涛; 杨华; 柴美荣 | 申请（专利权）人 | 贵阳市观山湖区融资担保有限责任公司 |
| 代理机构 | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人 | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 地址 | 550081 贵州省贵阳市观山湖区都匀路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种二维AMR开关传感芯片，包括Si基体，在Si基体中部上方设置含IC电路的晶圆，在IC电路的晶圆直接生长AMR敏感单元，在AMR敏感单元设置钝化层，AI电极包裹IC电路、AMR敏感单元和钝化层且该AI电极与IC电路采用欧姆连接，该AI电极位于Si基体上端，本实用新型能够大大降低芯片的使用面积，减少成本，降低功耗，提升产品的温度稳定性及可靠性，实现单芯片二维磁场检测。 |
