一种具有DBR分层结构的LED芯片
基本信息
申请号 | CN202020781423.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN211670204U | 公开(公告)日 | 2020-10-13 |
申请公布号 | CN211670204U | 申请公布日 | 2020-10-13 |
分类号 | H01L33/10(2010.01)I | 分类 | - |
发明人 | 张亚 | 申请(专利权)人 | 江西兆驰半导体有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 330000江西省南昌市高新技术产业开发区天祥北大道 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种具有DBR分层结构的LED芯片,包括P电极、PSS衬底、LED外延结构、CBL电流阻挡层、TCL透明导电层、N型半导体台面、N电极、DBR结构;其中:PSS衬底上生长有LED外延结构,LED外延结构上沉积有CBL电流阻挡层,LED外延结构上沉积TCL透明导电层,以MESA图层为掩模对LED外延结构进行等离子干法刻蚀(ICP),形成N型半导体台面,在TCL透明导电层、N型半导体台面上分别制作有P电极、N电极。本实用新型的优点在于:通过对LED芯片的DBR结构进行优化,将DBR结构分为接触层和交替叠层,采用不同的方法制作,改善了DBR结构接触层的反透射率和台阶披覆性,降低了常规方法制作的DBR结构所产生的LED芯片内部应力,从而提高了LED芯片的出光率和使用寿命。 |
