一种高可靠性的氮化物发光二极管及其制备方法

基本信息

申请号 CN201910055991.6 申请日 -
公开(公告)号 CN109817771B 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN109817771B 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/24(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 顾伟 申请(专利权)人 江西兆驰半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 330000江西省南昌市南昌高新技术产业开发区高新二路18号创业大厦503、515室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高可靠性的氮化物发光二极管及其制备方法,包括衬底,以及依次位于衬底上的缓冲层、非掺杂氮化物层、n型氮化物层、具有v型缺陷的有源层、AlN量子点和p型氮化物层;其中:所述AlN量子点位于所述具有v型缺陷的有源层和所述p型氮化物层之间,所述AlN量子点至少沉积在所述具有v型缺陷的有源层的v型缺陷斜面的端点,且不沉积在所述具有v型缺陷的有源层的非v型缺陷平面。本发明的优点在于:通过在有源层的v型缺陷上沉积AlN量子点,阻挡v型缺陷造成发光二极管的漏电通道,提高氮化物发光二极管器件的可靠性。