一种用于压电材料力频特性检测的力矩传感器

基本信息

申请号 CN202110392973.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113008428A 公开(公告)日 2021-06-22
申请公布号 CN113008428A 申请公布日 2021-06-22
分类号 G01L3/10 分类 测量;测试;
发明人 陈庆盈;付浩;杨桂林;赵岷江;周强;鲍世勇 申请(专利权)人 台晶(宁波)电子有限公司
代理机构 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 王亮;孙健
地址 315200 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于压电材料力频特性检测的力矩传感器,包括应变横梁、内轮辐和外轮辐,内轮辐与外轮辐分别作为力矩传感器的输入单元或输出单元,内轮辐与外轮辐之间安装有多个应变横梁,应变横梁内开设有通孔,应变横梁上设有与通孔对应的梁槽,该梁槽的开口处安装有压电薄膜。本发明在应变横梁上进行两次应力放大,第一次应力放大通过在应变横梁上开通孔来实现,第二次放大通过在通孔一侧或者两侧位置构建梁槽与压电薄膜构成梁膜结构进行第二次应力放大,这样能大大增加传感器的灵敏度;在检测力矩时,位于两次放大部位的压电薄膜在受力的同时会产生频率变化,通过对频率的测试实现力矩的检测,具有响应时间快,测量精度高,稳定性高等优点。