一种晶片测试方法
基本信息
申请号 | CN201510480909.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN105118795A | 公开(公告)日 | 2015-12-02 |
申请公布号 | CN105118795A | 申请公布日 | 2015-12-02 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 施勇 | 申请(专利权)人 | 海门市明阳实业有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 226141 江苏省南通市海门市四甲镇人民路438号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种晶片测试方法,包括如下步骤:首先,根据晶片及探针卡的信息,计算同测时探针的最短走向;然后,测试仪把走向的方式通过GPIB(通用接口总线)接口给探针台系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对晶片测试的最优化。本发明利用软件自动计算wafer测试的最短走向,然后测试仪把走向的方式通过GPIB接口给探针卡系统发送命令,控制探针台系统托盘的走向,实现对wafer测试的最优化,减少了在同测时对wafer的扎针次数,从而缩短了wafer的测试时间,提高了测试效率,节省了人力成本。 |
