一种石英晶体谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202111516161.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114157268A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114157268A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | H03H9/215（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李京波;韩理想;谢亮;康俊 | 申请（专利权）人 | 苏州亿波达光电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴竹慧 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区经济开发区越溪街道吴中大道1421号太湖软件产业园智慧谷园区6号楼17层1701室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种石英晶体谐振器，包括振动部和基部，振动部呈音叉状，振动部包括第一振动臂和第二振动臂，第一振动臂与第二振动臂交接处与基部连接；第一振动臂与第二振动臂的端部均设置有调频部，第一振动臂与第二振动臂上对称设置有通孔，通孔在第一振动臂与第二振动臂上沿轴向阵列分布；第一振动臂与第二振动臂上设置有激励电极。本发明的结构相比现有技术，能够产生更多的横向水平方向的电场，电场效率高，有较好的压电效率，使谐振器有优良的质量因子Q值；其次方形孔的结构简单且刚性强，制造工艺简单，对蚀刻精度要求低。 |
