一种石英音叉谐振器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111356787.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114189228A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114189228A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | H03H9/215（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 李京波;韩理想;谢亮;康俊;高伟 | 申请（专利权）人 | 苏州亿波达光电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 唐灵 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区经济开发区越溪街道吴中大道1421号太湖软件产业园智慧谷园区6号楼17层1701室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种石英音叉谐振器及其制备方法，其中石英音叉谐振器包括基部和设置在基部上的振动臂；所述振动臂上设有一组上凹槽和一组下凹槽，所述上凹槽和下凹槽分别设置在振动臂上相对的两个侧面上，所述上凹槽和下凹槽在振动臂的长度方向上和宽度方向上均交替设置。本发明的谐振器结构能够降低石英音叉谐振器晶体阻抗CI值，从而提高石英音叉谐振器性能的稳定性，该石英音叉谐振器的制备方法，采用干法刻蚀工艺，同时，先形成上凹槽和下凹槽，再进行刻蚀形成两个振动臂结构，之后形成相互隔离的电极，该方法精度高，工艺流程少，成本低，有效保证产品的质量，可广泛应用于石英音叉谐振器生产和加工的技术领域。 |
