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一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201911066888.8 申请日 -
公开（公告）号 CN110904500B 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN110904500B 申请公布日 2021-09-28
分类号 C30B15/34（2006.01）I;C30B15/36（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/20（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 申请（专利权）人 南京同溧晶体材料研究院有限公司
代理机构 南京中律知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 沈振涛
地址 210000江苏省南京市溧水区东屏镇金港路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机，通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构，能够进行一锅晶体生长完成后设备不降温，采用机械传动方式取出晶体并更换籽晶，再次下种，重复晶体生长过程，与早前的籽晶替换方案相比，本发明不受籽晶备用舱中籽晶数量的限制，可多次开启籽晶备用舱取出晶体并替换备用籽晶。在坩埚熔体充足的前提下，可持续生长10‑20次，极大的提高蓝宝石晶体的生长效率。