一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉
基本信息
申请号 | CN201911066882.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110923815B | 公开(公告)日 | 2021-06-15 |
申请公布号 | CN110923815B | 申请公布日 | 2021-06-15 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 | 申请(专利权)人 | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
代理机构 | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 沈振涛 |
地址 | 210000江苏省南京市溧水区东屏镇金港路22号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉,包括基座、坩埚、模具、籽晶、籽晶杆、籽晶替换盘、升降机、晶体生长炉腔体。在坩埚熔体充足的前提下,可更换籽晶多次下种并持续生长3次,极大的提高蓝宝石晶体的生长效率。同时,本发明能够实型一锅晶体生长完成后设备不降温,通过机械传动方式更换籽晶,再次下种,重复晶体生长过程,解决生产中升温降温过程的时间消耗,提高生产效率。 |
