一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201911066882.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110923815B 公开(公告)日 2021-06-15
申请公布号 CN110923815B 申请公布日 2021-06-15
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐军;赵衡煜;王东海;李东振;王庆国 申请(专利权)人 南京同溧晶体材料研究院有限公司
代理机构 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 沈振涛
地址 210000江苏省南京市溧水区东屏镇金港路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种基于籽晶替换方案的导膜法蓝宝石晶体生长炉,包括基座、坩埚、模具、籽晶、籽晶杆、籽晶替换盘、升降机、晶体生长炉腔体。在坩埚熔体充足的前提下,可更换籽晶多次下种并持续生长3次,极大的提高蓝宝石晶体的生长效率。同时,本发明能够实型一锅晶体生长完成后设备不降温,通过机械传动方式更换籽晶,再次下种,重复晶体生长过程,解决生产中升温降温过程的时间消耗,提高生产效率。