一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法

基本信息

申请号 CN202111453667.3 申请日 -
公开(公告)号 CN114112168A 公开(公告)日 2022-03-01
申请公布号 CN114112168A 申请公布日 2022-03-01
分类号 G01L9/12(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 李开明;段红军;张琳;李骏楠;李瑞清 申请(专利权)人 上海文襄汽车传感器有限公司
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 孙英杰
地址 201619上海市松江区洞泾镇沈砖公路5500号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法。该陶瓷电容压力传感器包括压力感应元件;底座;在底座的顶部开设有容纳腔,在底座的底部形成一向下中空的承压管道,承压管道与容纳腔上下贯通,压力感应元件设置在容纳腔内;密封胶垫,为中空结构,包括管道部和连接部,在管道部的顶端沿径向向外延伸形成一环状的连接部,连接部夹紧在压力感应元件和底座构建容纳腔的内壁之间,管道部的外壁与承压管道的内壁贴合,密封胶垫和压力感应元件围成一在承压管道内的承压腔。本发明提出了一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法,密封性能好,能有效保护陶瓷电容压力传感器的内部电路。