一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法
基本信息
申请号 | CN202111453667.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114112168A | 公开(公告)日 | 2022-03-01 |
申请公布号 | CN114112168A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
分类号 | G01L9/12(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 李开明;段红军;张琳;李骏楠;李瑞清 | 申请(专利权)人 | 上海文襄汽车传感器有限公司 |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 孙英杰 |
地址 | 201619上海市松江区洞泾镇沈砖公路5500号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法。该陶瓷电容压力传感器包括压力感应元件;底座;在底座的顶部开设有容纳腔,在底座的底部形成一向下中空的承压管道,承压管道与容纳腔上下贯通,压力感应元件设置在容纳腔内;密封胶垫,为中空结构,包括管道部和连接部,在管道部的顶端沿径向向外延伸形成一环状的连接部,连接部夹紧在压力感应元件和底座构建容纳腔的内壁之间,管道部的外壁与承压管道的内壁贴合,密封胶垫和压力感应元件围成一在承压管道内的承压腔。本发明提出了一种陶瓷电容压力传感器及其制造方法,密封性能好,能有效保护陶瓷电容压力传感器的内部电路。 |
