一种测量溶液浓度的超声波传感装置
基本信息
| 申请号 | CN202121210078.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214895026U | 公开（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申请公布号 | CN214895026U | 申请公布日 | 2021-11-26 |
| 分类号 | G01N29/024（2006.01）I;G01N29/22（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马库斯·郎 | 申请（专利权）人 | 鑫巨（深圳）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市精英专利事务所 | 代理人 | 武志峰 |
| 地址 | 518000广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室（入驻深圳市前海商务秘书有限公司） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种测量溶液浓度的超声波传感装置，设置于蚀刻机的循环系统中，用于测量蚀刻机中的蚀刻剂溶液的浓度，蚀刻机的循环系统包括用于盛放蚀刻剂溶液的容纳池，容纳池的外侧下端设有循环泵，容纳池的外侧上端设有回流喷淋管，超声波传感装置包括壳体和穿入壳体内部的传感器组件，壳体的一端密封连通循环泵，壳体的另一端密封连通回流喷淋管，传感器组件包括位于壳体内部的超声波检测端，容纳池内的蚀刻剂溶液循环流经超声波检测端。本实用新型通过循环流动蚀刻剂溶液，在循环流动的过程中插入传感器组件，通过传感器组件的超声波检测端对蚀刻剂溶液的浓度进行检测，具有通过浓度测量精度高的优点。 |
