电子元器件加工用镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202020192385.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211872075U | 公开（公告）日 | 2020-11-06 |
| 申请公布号 | CN211872075U | 申请公布日 | 2020-11-06 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱从娜 | 申请（专利权）人 | 上海文施光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海首言专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海文施光电科技有限公司 |
| 地址 | 201611上海市松江区康电路189号1幢B座 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于镀膜装置领域，具体为电子元器件加工用镀膜装置，包括封闭机构，所述封闭机构包括镀膜箱、支脚、挡门，所述镀膜箱底部设有所述支脚，所述镀膜箱前部通过铰链连接有所述挡门，所述封闭机构上设有喷涂机构和固定机构，所述喷涂机构包括蒸发源、输气管、吹风机、进气管、分散箱，所述镀膜箱底部且位于所述支脚内侧设有所述吹风机，所述吹风机顶部设有所述进气管，所述吹风机一侧设有所述蒸发源，所述蒸发源顶部设有所述输气管。本实用新型采用喷涂机构和固定机构，从而可以带动电子元器件或存放有电子元器件的托盘转动，进而利用喷涂机构均匀快速的将气态金属喷涂在电子元器件上，使用方便。 |
