电子产品生产工艺
基本信息
申请号 | CN201711368816.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108183063B | 公开(公告)日 | 2020-03-24 |
申请公布号 | CN108183063B | 申请公布日 | 2020-03-24 |
分类号 | H01L21/02 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 廖洪清 | 申请(专利权)人 | 重庆凯务电子商务有限公司 |
代理机构 | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 重庆凯务电子商务有限公司 |
地址 | 401120 重庆市长寿区文苑南路3号16幢2-1 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于电子产品生产技术领域,具体涉及一种电子产品生产工艺;包括以下步骤:1)晶圆准备:用清洗液清洗晶圆表面;然后用冷风将晶圆吹干;2)贴片机准备;3)上料:将晶圆固定在步骤2)中的贴片机的支撑板上;4)定位:启动步骤2)中的移动器,将所述支撑板平移至压平气囊下方;5)贴片:在晶圆的上表面贴保护膜,同时继续平移支撑板,使压平气囊在滚动状态下压平保护膜;6)切割:将多余的保护膜切割掉,即完成贴片;7)研磨:将贴片后的晶圆研磨至厚度为180~350um;8)撕片:将步骤2)中的保护膜撕除。本方案能有效防止在贴片过程中保护膜与晶圆之间产生气泡,降低晶圆的不良率。 |
